









无论是透明薄膜还是吸收薄膜,薄膜还是厚膜,在线透光率检测仪,介质薄膜还是半一导体薄膜,晶态薄膜t还是非晶态薄膜,固体薄膜、液体薄膜还是气体薄膜等等,只要能很方便地测出它们的透射光谱,就能采用透射光谱法来测量它们的参数。但对一些反射率很大的薄膜(如金属薄入(nm)膜等)就不宜采用透射光谱法。透光率检测仪
在用透射光谱法测量薄膜参数中,的情况就是测沉积在透明基底上的透明薄膜,即在所测的光谱范围内薄膜的吸收可以忽略,消光系数k=20。透光率检测仪
若薄膜的吸收系数很大,则膜不能太厚,否则透射率太小;基底一般是透明的。若存在吸收,则吸收系数不能很大,否则透射率也会太小(因基底很厚)。透光率检测仪
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