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在众多的薄膜厚度和光学常数的测量方法中,透射光谱法由于测量范围广、精度高、测试简单、测量条件的非苛刻性、非接触性、可同时确定薄膜光学常数和厚度等---优点而得到广泛采用。因此,本文采用透射光谱法来确定薄膜的厚度和光学常数。透光率检测仪
光谱法又分反射光谱法和透射光谱法。反射光谱法和透射光谱法都是用分光光度计测出光在垂直入射条件下(也有用斜入射光的,透光率检测仪,但一般用垂直入射光,全光谱透光率检测仪,因为此时可不必考虑光的偏振态)的反射或透射光谱曲线透光率检测仪
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如:x、y、l、a、b、主波长等。
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