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其中一束光线透过测试片，称为测量光束;另一束透过空气，称作参考光束。这两束光分别用两只相同的光电探测器接收后直接比较而得到透射率，或者只用一只探测器，交替的对两束光检测并进行比较，以得到样品的透射率。透过率测试仪

参考光强和测量光强由转换成相同形状的电信号后经过检波，将参考电信号和测量电信号分开并进行放大、比较，后把比率按波长坐标在记录仪上记录下来，便可得到光谱透射率曲线。透过率测试仪

同其它的许多光学方法一样，透射光谱法测量薄膜均是非接触性的，因而几乎不会损伤薄膜的表面或改变薄膜的表面结构。对被测对象所处的环境条件要求也不苛刻，测试环境可以在空气、真空或特定条件下，---是对于那些在电场、磁场及其它电子检测手段无法应用的场合，采用透射光谱法是很方便的。这也正是该方法成为实验室和工业生产中薄膜监控和检测手段之一的原因。此外，该方法的工作波长几乎不受---，可根据实际情况恰当选择，这就使远紫外和真空紫外区薄膜光学常数的测量成为可能。透过率测试仪

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