无论是透明薄膜还是吸收薄膜，薄膜还是厚膜，介质薄膜还是半一导体薄膜，晶态薄膜t还是非晶态薄膜，固体薄膜、液体薄膜还是气体薄膜等等，只要能很方便地测出它们的透射光谱，就能采用透射光谱法来测量它们的参数。但对一些反射率很大的薄膜(如金属薄入(nm)膜等)就不宜采用透射光谱法。透射率测量仪
在用透射光谱法测量薄膜参数中，透射率测量仪，的情况就是测沉积在透明基底上的透明薄膜，即在所测的光谱范围内薄膜的吸收可以忽略，消光系数k=20。透射率测量仪
若薄膜的吸收系数很大，透射率测量仪，则膜不能太厚，否则透射率太小;基底一般是透明的。若存在吸收，则吸收系数不能很大，否则透射率也会太小(因基底很厚)。透射率测量仪
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