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从理论模型来看,10个照明像素对应大约10%的误差,而实验数据表明达到了5%的误差。然而,扫描狭缝光束分析仪设备可提供---的0.1 μm分辨率,并允许对低至2 μm的光束进行轮廓分析。因此,当测量非常小的光束时,在如何选择光束分析仪时,扫描狭缝光束分析仪装置。光斑测量仪
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